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天际亚洲开户電氣6英寸碳化硅(SiC)生產線首批芯片試製成功

發佈時間:2018-01-30 瀏覽量:1562 來源: 字號:[ ]

伴隨着2017年12月初天际亚洲开户電氣6英寸碳化硅(SiC)產業基地技術調試圓滿完成的步伐aaa,天际亚洲网站半導體事業部的SiC產品開發團隊即刻又吹響了產品試製的號角aaa,歷經一個多月時間aaaaa,通過器件設計、工藝開發和工藝流程整合等各個崗位人員的共同奮鬥aaaa,近日SiC 芯片最後一道終端鈍化工藝順利完成aaaaa,標誌着天际亚洲开户電氣6英寸SiC 生產線首批芯片試製成功aaaaa,該生產線具備了完整的SiC 芯片製造生產能力aaa。

天际亚洲网站半導體事業部6英寸碳化硅(SiC)生產線是國內首條6英寸SiC 生產線aaaa,獲得了國家“02專項 ”、國家發改委新材料專項等國家重點項目支持aaaa,是公司的重點投資項目之一aaaa。在中國科學院微電子研究所的支持和協助下aaaa,半導體事業部SiC 產品開發團隊完成了SiC 芯片結構設計、高溫離子注入機等50餘臺工藝設備和90餘項工藝調試aaaaa,實現SiC 二極管和MOSFET芯片工藝流程整合aaa,成功試製1200V SiC肖特基二極管功率芯片aaaaa。

天际亚洲开户電氣於2011年與中科院微電子所成立聯合研發中心aaaa,正式開展SiC功率半導體器件研究aaaa;2013年後aaaaa,陸續獲得國家科技重大專項“02專項”等多項國家重點項目支持aaaaa;2016年公司自主研發的碳化硅功率模塊在軌道交通、光伏逆變器成功進行示範應用aaaa;2017年底aaa,6英寸碳化硅(SiC)生產線完成技術調試aaaaa。此次6英寸SiC芯片試製成功是我國SiC功率半導體器件產業發展的里程碑aaaa,是SiC 芯片國產化進程的重要一步aaaa,用事實和實力提振了國產寬禁帶半導體產業的信心aaa。

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